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ISSN1001-3806CN51-1125/TN 网站地图

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248nm准分子激光加工玻璃微通道的实验研究
田姗姗, 陈涛
2016, 40(5): 687-690. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.05.014
关键词: 激光技术, 玻璃微通道, 248nm激光, 激光参量, 刻蚀效率, 刻蚀质量